xy位移台的工作原理_精密位移平台工作模式

　　一种实际应用于 XY精密平台之中的宏平台 ,其摈弃了减速系统 ,具有结构简单、摩擦阻力小、动作灵敏和扩展潜力强等特点。经试验运行 ,XY精密平台的技术指标 ,完全满XY精密平台系统的使用要求 ,同时也可单独用于要求大行程、中等位移精度的实际生产过程中。

xy位移台

　　XY精密平台介绍：

　　大行程精密位移技术被广泛应用于半导体加工、精密制造、光学工程等领域的实际生产中 ,用以提高加工精度 ,制造出体积更小、能耗更低、功能更强大的产品。因此 ,具有 50mm 以上行程、亚微米级以下定位精度的多自由度精密位移技术已经成为相关产业的关键技术之一。
针对此要求 ,近年来 ,国内外对大行程高精度位移技术进行了大量的研究。在多自由度微位移技术的研究中存在着一个突出的矛盾: 高精度和大行程的矛盾。 解决这一矛盾的关键在于设计合理的机械执行装置，在多自由度微位移技术的研究中存在着一个突出的矛盾: 高精度和大行程的矛盾。 解决这一矛盾的关键在于设计合理的机械执行装置。
 

　　一，xy位移台的工作原理：

　　目前 ,实现大行程高精度、具有一定运行速度和负载能力的位移主要有两种方法。

　　第一 ,只采用一级传动机构 ,同时满足大行程和高精度的要求。这种方法的优点在于只需采用一套机械系统和一套相应的控制系统。但此法最大的缺点是系统对机械装置和控制系统的要求非常高 ,必须采用特殊的材料、工艺以及具有精确数学模型及精确补偿模型的伺服控制系统来保证位移精度的实现。

　　第二 ,采用宏 /微结合的模式 (如图 1所示 )。即采用两级传动机构 ,第一级机构首先完成大行程运动 , 第二级机构以第一级机构的行程误差作为其目标行程 ,执行补偿动作 ,通过两级机构的组合 ,共同完成大行程高精度的位移动作。这种模式可以有效地利用微位移机构高精度的定位能力 ,大大降低系统对大行程机构位移精度的要求[ 3]。但应用这种模式有两个前提条件。

xy精密位移平台

　　二，XY精密平台的工作模式：

　　(1) 第一级机构的行程误差必须小于第二级机构(微定位平台 )的最大行程 ,即第一级机构的误差具有可补偿性;

　　( 2) 对轨迹精度有要求时 ,第二级机构的控制周期必须小于第一级机构的有效控制周期 ,即第二级机构的补偿动作具有有效性和实时性。我们研制的精密定位系统采用宏 /微结合的模式如图 2所示。 在这种模式下 ,第一级机构 (即宏平台 ) 不仅需要完成大行程、具有一定精度的位移 ,而且 ,宏平台也是微平台、伺服系统和测量系统等装置的安装

　　公司介绍

　　精密位移滑台专业制造商-德誉(DEYU)是制造精密定位滑台的领先厂家。 从研究机构到生产技术领域，全方位支持精密定位技术和光学技术。

　　经营产品

　　从滑台等的定位部件到光纤耦合的系统产品的提案，范围广泛。

　　主要的客户

　　产品被应用于自动化设备，半导体设备，医疗器械，光通信设备，实验室设备，测试和检查设备等各种领域。