采用单边高精度6轴手动位移台.对MUX器件,采用带有高速光开关的光源与光功率计.对于DEMUX器件,采用大面积PD探头。 配有激光照射单元,可初步调整2轴平行。 配有双镜头,可通过图像视频调整端面平行。 专门定制的产品夹具,稳定可靠。
表面平整,不受折射限制
体积小,对机械振动和温度变化不敏感
通过简单的夹具切换,就可以在边耦合及垂直耦合之间切换,非常方便
布局上,腾出更多的空间让用户可以放置更多探针台对芯片的有源部份加电
偏转器、模式转换器、波分复用器、滤波器、启偏器、耦合器等
轴 | X | Y | Z(光轴) | θX | θY | θZ | 观察镜头部分 |
驱动方式 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 | 龙门架或镯立式多方向可调镜架 |
电动行程 | ±6.5mm | ±6.5mm | ±6.5mm | ±4° | ±10° | ±4° | - |
MIN/sensitivity | 粗调:10微调:0.5 | 粗调:10微调:0.5 | 粗调:10微调:0.5 | 0.009 | 0.01 | 0.009 | - |
本款高精度六轴调整架,在PLC平面波导对准封装系统应用广泛,生产效率堪比进口设备,粗调精度10微米,精调精度为0.5微米。