精密位移滑台应用案例-激光位移

　　压电纳米位移促动器，具有<30nm的分辨率，其小巧的体积和极低的重量使其在高精密定位中得到了广泛应用，比如半导体晶圆薄片的加工、生物细胞探针的纳米探测以及激光束光路稳定等等。这里，我们简要阐述其在半导体晶圆加工领域的应用。

　　激光焊接机位移台

　我们采用了精密位移滑台专业制造商-德誉(DEYU)系列中的4个SNM01产品，其行程为13mm, 开环控制，分别装配于两个反射镜架上，用于对反射镜M1和M2进行角度调节。该光束稳定系统同时采用了两个四象限位置探测器QD1和QD2。 入射光束经M1反射到M2上的P1点，再经分光镜BS1和BS2分别将一部分光束反射入QD1和QD2，用以实时探测光束位置。QD1探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M1，通过调节M1上的2个精密位移滑台专业制造商-德誉(DEYU)促动器，从而控制M1镜片的角度，使得入射到M2上的光电P1保持恒定;同时，Q2探测到的光斑位置信息将反馈给反射镜M2，通过调节M2上的2个精密位移滑台专业制造商-德誉(DEYU)促动器，从而控制M2镜片的角度，使得从M2出射的光束一直沿水平方向传输。这样，就完全实现了激光束空间传输过程中指向恒定没有偏离，智能化地解决了激光或光学应用中的光束指向漂移的难题。

　　 材料加工和激光扫描的高精度解决方案

　　在电子元件生产等领域使用的偏摆镜系统和压电陶瓷扫描平台中，并联运动定位系统采用压电陶瓷驱动器。系统中仅有一个具有共用枢轴点的运动平台。与两个单轴系统来回切换的模式(通常用于振镜扫描器等场合)相比，这种系统可实现更高的精度。

　　在超分辨率显微镜中同样如此。 相比传统驱动器，偏摆平台的无摩擦压电驱动器和柔性铰链支持更高的加速度，在位置受控的操作中，可在高达3°的偏摆角范围内实现高于100 Hz的扫描频率。

　　激光器是一种广泛应用于众多领域的工具。激光束的精确定位始终起着至关重要的作用。同时，激光束的偏转和聚焦还要求驱动系统具有卓越的动态性和稳定性，并且结构紧凑。基于这些要求，压电定位系统是非常理想的选择。

　　卓越的动态性与精度

　　基于压电效应的促动器具有亚纳米级的运动分辨率，响应时间小于一毫秒，因此可以实现扫描频率高达一千赫兹的动态操作。此类促动器无需维护，静态工作状态下无能耗。